一般情況下，刻蝕完成后需要進行的操作是（）

下列可能造成離子源沾污的因素是（）

最常用的砷化橡的濕法刻蝕腐蝕液包括（）

當需要刻蝕的圖形尺寸大于3um時，一般使用（）。

說明功能檢測工裝的制作原理？

（）可以通過帶電粒子在盛場作用下做運動把粒子進行篩選，挑選出唯一需要注入的離子。

下列哪些是進行光刻前的預處理的步驟？（）

假設光刻膠的厚度是2000埃，二氧化硅的厚度為4000塊，如果要求經過30秒的刻蝕后，厚度變?yōu)?400埃，那么這個過程中刻蝕速率是（）埃/分鐘。

調試和維修電路時排除故障的一般程序和方法是怎樣的？

離子注入機掃描系統(tǒng)中，采用的掃描方式有（）