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分子束外延(MBE)
答案:
在超高真空下,利用薄膜組分元素受熱蒸發(fā)所形成的原子或分子數,直接射到沉底表面,形成外延層。
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自摻雜效應
答案:
在外延生長過程中,襯底雜質及其他來源雜質因為熱蒸發(fā),或者化學反應等非人為地參入外延層,改變了邊界層中的摻雜成分和濃度,從...
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擴散效應
答案:
襯底雜質與外延層雜質相互擴散,導致界面處雜志再分布的現象。
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