名詞解釋

RTA(RTP)

答案:

就是快速退火,即降低退火溫度,或者縮短退火時(shí)間完成退火。

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名詞解釋

退火

答案: 如果將注有離子的硅片在一定溫度下,經(jīng)過適當(dāng)時(shí)間的熱處理,則硅片中的損傷就會(huì)得到大部分消除,少數(shù)載流子的壽命以及遷移率也會(huì)...
名詞解釋

溝道效應(yīng)

答案:

離子沿溝道前進(jìn),核阻擋作用小,因而射程比非晶靶遠(yuǎn)得多,這種現(xiàn)象叫溝道效應(yīng)。

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