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核碰撞
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在離子注入中,注入離子與靶原子核碰撞,將能量傳給靶核,離子發(fā)生偏轉,靶核產(chǎn)生位移。
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再分布
答案:
住擴散是將預擴散引入的雜質作為擴散源,在較高的溫度下進行擴散,擴散的同時也往往進行氧化。目的是為了控制表面濃度和擴散深度...
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預淀積
答案:
與擴散實在較低溫度下,采用恒定表面源擴散方式,在硅片表面擴散一層數(shù)量一定按余誤差函數(shù)形式分布的雜質,由于溫度較低,且時間...
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