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名詞解釋liga技術(shù)（X射線刻蝕電鑄模法）

是一種新型的三維超微細(xì)加工技術(shù)，采用深度X射線光刻，電鑄成?；蛭⑺茉斓姆椒ǎ梢杂脕?lái)制作任意形狀的三維微細(xì)結(jié)構(gòu)。

1.名詞解釋超精密加工技術(shù)

2.名詞解釋精密加工技術(shù)

加工精度在10-0.1um，表面粗糙度值0.3-0.03um的加工技術(shù)。