(1)關(guān)閉送氣閥 (2)其余按正常停車操作
(1)球罐出口閥門處于關(guān)閉狀態(tài);緩慢關(guān)閉放空閥 (2)緩慢打開(kāi)球罐進(jìn)氣閥,直到出口壓力達(dá)到所需工況
(1)重新設(shè)定凈化壓力 (2)調(diào)高進(jìn)口壓力 (3)提高升壓時(shí)間周期