每種晶體物質(zhì)都有自己特定的晶體結(jié)構(gòu)，晶體結(jié)構(gòu)不同則X射線衍射花樣也就各不相同。

1887年，Hertz建立了XPS技術(shù)的理論模型。

利用電子探針的波譜儀，一個(gè)分光晶體能夠覆蓋的波長范圍有限的，因此一個(gè)分光晶體只能檢測一定原子序數(shù)范圍的元素。

在電子探針面分析中，根據(jù)圖像上亮點(diǎn)的疏密和分布，可確定該元素在試樣中分布情況，亮區(qū)代表元素含量（）。

晶體的X射線衍射方向反映了晶胞的（）。