填空題

光柵尺柵距為0.02mm，主光柵與指示光柵相對(duì)位移，計(jì)數(shù)器計(jì)得脈沖數(shù)為500，則位移為（），其分辨力為（），若加細(xì)分電路4細(xì)分，則其最小分辨位移為（）。

答案： 10mm；0.02mm；5um
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