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【簡答題】缺陷顯示的意義?
答案:
顯示漩渦缺陷,檢測體層錯,位錯,晶體原有的滑移,摻雜劑或雜志濃度周期性變化形成的電阻率條紋等。
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【簡答題】直流四探針發(fā)測量電阻率的基本原理是?
答案:
當四根金屬探針排成一條線,并以一定壓力在半導體材料上,在1、4兩根探針間通過電流I,則2、3探針間產(chǎn)生電位差V。
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【簡答題】影響硅單晶電化學腐蝕速度的因素有哪些?
答案:
腐蝕液的成分、電極電位、緩沖劑的影響、腐蝕處理的溫度和攪拌的影響、光照的影響。
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