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保形覆蓋
答案:
保形覆蓋是指無論襯底表面有什么樣的傾斜圖形在所有圖形的上面都能沉積有相同厚度的薄膜。
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由于光刻膠無法承受高溫過程,擴散的掩膜都是二氧化硅或氮化硅。當原子擴散進入硅片,它們向各個方向運動:向硅的內(nèi)部,橫向和重...
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