占據(jù)晶格位置的外來原子稱為替位雜質。只有當替位雜質的近鄰晶格上出現(xiàn)空位，替位雜質才能比較輕易地運動到近鄰空位上。
加熱蒸發(fā)源，使原子或分子從蒸發(fā)源表面逸出，形成蒸汽流并入射到硅片（襯底）表面，凝結形成固態(tài)薄膜。
