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半導(dǎo)體級(jí)硅的純度為99.9999999%。
答案:
正確
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制作鎢塞的主要工藝步驟是:1、();2、();3、();4、磨拋鎢。
答案:
鈦淀積阻擋層;氮化鈦淀積;鎢淀積
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制作通孔的主要工藝步驟是:1、();2、();3、()。
答案:
第一層層間介質(zhì)氧化物淀積;氧化物磨拋;第十層掩模和第一層層間介質(zhì)刻蝕
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制造電子器件的基本半導(dǎo)體材料是圓形單晶薄片,稱為硅片或()。在硅片制造廠,由硅片生產(chǎn)的半導(dǎo)體產(chǎn)品,又被稱為()或()。
答案:
硅襯底;微芯片;芯片
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集成電路的制造分為五個(gè)階段,分別為()、()、硅片測(cè)試和揀選、()、終測(cè)。
答案:
硅片的制備;硅片制造;裝配和封裝
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集成電路的發(fā)展時(shí)代分為()、中規(guī)模集成電路MSI、()、超大規(guī)模集成電路VLSI、()。
答案:
小規(guī)模集成電路SSI;大規(guī)模集成電路LSI;甚大規(guī)模集成電路ULSI
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芯片硅片制造廠可以分為6個(gè)獨(dú)立的生產(chǎn)區(qū):擴(kuò)散區(qū)、()、刻蝕區(qū)、()、()和拋光區(qū)。
答案:
光刻區(qū);注入?yún)^(qū);薄膜區(qū)
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熱擴(kuò)散利用()驅(qū)動(dòng)雜質(zhì)穿過(guò)硅的晶體結(jié)構(gòu),這種方法受到()和()的影響。
答案:
高溫;時(shí)間;溫度
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硅中固態(tài)雜質(zhì)的熱擴(kuò)散需要三個(gè)步驟()、()和()。
答案:
預(yù)淀積;推進(jìn);激活
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集成電路制造中摻雜類工藝有()和()兩種。
答案:
熱擴(kuò)散;離子注入
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擴(kuò)散是物質(zhì)的一個(gè)基本性質(zhì),描述了()的情況。其發(fā)生有兩個(gè)必要條件()和()。
答案:
一種物質(zhì)在另一種物質(zhì)中的運(yùn)動(dòng);一種材料的濃度必須高于另一種材料的濃度;系統(tǒng)內(nèi)必須有足夠的能量使高濃度的材料進(jìn)入或通過(guò)另一...
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