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CZ直拉法的目的是()。
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實(shí)現(xiàn)均勻摻雜的同時(shí)并且復(fù)制仔晶的結(jié)構(gòu),得到合適的硅錠直徑并且限制雜質(zhì)引入到硅中
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CZ直拉法生長(zhǎng)單晶硅是把()變?yōu)椋ǎ┎⑶遥ǎ┑墓腆w硅錠。
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從半導(dǎo)體制造來(lái)講,晶圓中用的最廣的晶體平面的密勒符號(hào)是()、()和()。
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100;110;111
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