填空題

CZ直拉法的目的是()。

答案: 實(shí)現(xiàn)均勻摻雜的同時(shí)并且復(fù)制仔晶的結(jié)構(gòu),得到合適的硅錠直徑并且限制雜質(zhì)引入到硅中
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