問(wèn)答題化學(xué)氣相沉積法有哪些反應(yīng)類型？該法對(duì)反應(yīng)體系有什么要求？在熱解反應(yīng)中用金屬烷基化物和金屬烷基氧化物作為源物質(zhì)時(shí)，得到的沉積層分別為什么物質(zhì)？如何解釋？
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