利用電子探針對材料微區(qū)成分進行面分析，包含幾種元素就顯示幾種元素的分布圖像。

利用電子探針的波譜儀，一個分光晶體能夠覆蓋的波長范圍有限的，因此一個分光晶體只能檢測一定原子序數(shù)范圍的元素。

掃描隧道顯微鏡能用于觀察導體、半導體和絕緣體材料的表面結構。

熱分析中，不同性質的氣氛對測試結果沒有影響。

被樣品原子核反彈回來的入射電子稱為非彈性背散射電子，能量基本上沒有損失。