在電子探針面分析中，根據(jù)圖像上亮點的疏密和分布，可確定該元素在試樣中分布情況，亮區(qū)代表元素含量（）。

在體心點陣中，當（HKL）晶面的H+K+L為奇數(shù)時，產(chǎn)生系統(tǒng)消光。

被樣品原子核反彈回來的入射電子稱為非彈性背散射電子，能量基本上沒有損失。

電子探針的能譜儀和波譜儀比較，波譜儀（）。

1887年，Hertz建立了XPS技術(shù)的理論模型。