在電子探針中，測定X射線特征能量的譜儀為能量分散譜儀，簡寫為（）。

與光鏡呈像相比，掃描電鏡圖像立體感強，形態(tài)逼真，這是由于掃描電鏡的（）比光鏡大100-500倍。

掃描電鏡的二次電子像中，樣品表面的深凹槽底部產(chǎn)生較多二次電子，在熒光屏上這些部位的亮度較大。

掃描電鏡的背散射電子像中，圖像上亮區(qū)對應(yīng)區(qū)域的原子序數(shù)（）暗區(qū)對應(yīng)區(qū)域的原子序數(shù)。

掃描隧道顯微鏡能用于觀察導(dǎo)體、半導(dǎo)體和絕緣體材料的表面結(jié)構(gòu)。