填空題

產(chǎn)生等離子體的電力條件是（），無(wú)線電頻率可從射頻到VHF、微波范圍內(nèi)多種多樣的頻率，但目前射頻等離子體CVD最普及。

答案：直流

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對(duì)于a-Si：H系，其物性上的最大特點(diǎn)是（）通常為1.7—1.8ev，比結(jié)晶要寬，結(jié)構(gòu)混亂引起的光學(xué)躍遷動(dòng)量守恒定律的緩和作用，使其在可見(jiàn)光范圍內(nèi)具有相當(dāng)大的光吸收系數(shù)。

答案：禁帶寬度

a-Si：H以及合金材料，用（）、熱CVD、光CVD等氣相生長(zhǎng)法可以制造薄膜。

答案：等離子CVD

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