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問答題
【簡答題】在多晶硅電池片上用等離子體進行的化學(xué)氣相沉積法生產(chǎn)的氮化硅膜會產(chǎn)生哪兩種效果?
答案:
兩種效應(yīng):首先使用等離子體對氫進行活化,然后對晶粒進行鈍化。晶界產(chǎn)生的電子能級,在激發(fā)下生成載流子,不僅能使短路電流密度...
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問答題
【簡答題】多晶硅鑄模的制造成技術(shù)有哪些?
答案:
大部分多晶硅基片都是用所謂的鑄造法生產(chǎn)的,基片廣泛使用10~15cm的角。廣泛采用光電導(dǎo)率衰減測定法測定少數(shù)載流子在基片...
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填空題
目前正在廣泛研究的有化學(xué)氣相沉積法、()、固相結(jié)晶、等。
答案:
液相外延
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