單項(xiàng)選擇題以下對(duì)PAD清潔方式正確的是（）。
A.有機(jī)溶劑、水
B.Airclean、水
C.有機(jī)溶劑、PLASMA
D.PLASM、Airclean
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1.單項(xiàng)選擇題為確保OLBBD狀態(tài)，需要對(duì)BD完成品進(jìn)行鏡檢，鏡檢的項(xiàng)目不包括（）。
A.Miss量
B.粒子數(shù)
C.粒子狀態(tài)
D.POL壓痕
2.單項(xiàng)選擇題OLBBonding過(guò)程中，清潔Stage的主要目的是（）。
A.防止POL壓痕
B.防止保護(hù)膜臟污
C.防止POL異物
D.防止POL氣泡
