單項選擇題

光刻的主要工藝流程按照操作順序是（）。

A.涂膠、前烘、曝光、堅膜、顯影、去膠
B.涂膠、前烘、堅膜、曝光、顯影、去膠
C.涂膠、前烘、曝光、顯影、堅膜、去膠
D.前烘、涂膠、曝光、堅膜、顯影、去膠

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