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問答題試簡(jiǎn)述LIGA技術(shù)的原理、特點(diǎn)及主要工藝。

參考答案： 原理：LIGA技術(shù)的機(jī)理是由深層X射線光刻、電鑄成形及塑注成形三個(gè)工藝組成。在用LIGA技術(shù)進(jìn)行光刻過程中，一張預(yù)先制作...

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1.問答題什么是光刻加工技術(shù)？試簡(jiǎn)述光刻加工的原理和工藝流程。

參考答案：光刻加工技術(shù)就是用光刻加工方法，刻蝕出規(guī)定的圖形的技術(shù)。
光刻加工是用照相復(fù)印的方法將光刻掩膜上的圖形印制在涂...

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2.問答題敘述MEMS（微型機(jī)電系統(tǒng)）的基本特征，目前有哪些微型機(jī)械加工技術(shù)？

參考答案：基本特征：體積小、重量輕、能耗低、性能穩(wěn)定；有利于大批量生產(chǎn)，降低生產(chǎn)成本；慣性小、諧振頻率高、響應(yīng)時(shí)間短；集約高技術(shù)成...

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3.問答題試分析工程陶瓷材料的加工（磨削）技術(shù)及加工（磨削）機(jī)理。

參考答案：在陶瓷磨削方面由于陶瓷的高硬度和高脆性，大多數(shù)研究都使用了“壓痕斷裂力學(xué)”模型或“切...

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4.問答題綜述精密超精密加工技術(shù)的現(xiàn)狀和發(fā)展趨勢(shì)。

參考答案：基于超精密及納米加工技術(shù)的重要性，國內(nèi)外對(duì)該技術(shù)的研究和開發(fā)都投入了大量的人力和財(cái)力。超精密加工技術(shù)在國際上處于領(lǐng)先地位...

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5.問答題相比較普通機(jī)床，超精密加工機(jī)床的主軸部件和進(jìn)給系統(tǒng)有何具體的特點(diǎn)？

參考答案：主軸部件：主軸轉(zhuǎn)速高速化、高精度；一般采用柔性主軸，穩(wěn)定性好。
進(jìn)給系統(tǒng)：移動(dòng)速度快，普遍采用直線伺服電機(jī)傳動(dòng)...

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