填空題

實(shí)現(xiàn)超精密加工的技術(shù)支撐條件主要包括:()、()、()、()、高質(zhì)量的工件材料、超穩(wěn)定的加工環(huán)境條件等。

答案:超精密加工機(jī)理與工藝方法;超精密加工機(jī)床設(shè)備;超精密加工工具;精密測(cè)量和誤差補(bǔ)償
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