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問答題
【簡答題】沉積的薄膜有內(nèi)應(yīng)力的存在，其來源為何？
答案：
（1）薄膜和基材之間的晶格失配
（2）薄膜和基材之間的熱膨脹系數(shù)差異
（3）晶界之間的互擠
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問答題
【簡答題】良好的薄膜須具備哪些特性？影響的因素有哪些？
答案：
通俗的定義為在正常狀況下，其應(yīng)用功能不會失效。想要達到這個目的，一般而言這層薄膜必須具有堅牢的附著力、很低的內(nèi)應(yīng)力、針孔...
問答題
【簡答題】何為化學(xué)氣相蒸鍍（CVD）？主要的優(yōu)缺點有哪些？
答案：
化學(xué)氣相蒸鍍乃使用一種或多種氣體，在一加熱的固體基材上發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，并鍍上一層固態(tài)薄膜。
優(yōu)點：
（...
優(yōu)點：
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