填空題離子束加工時(shí),由于離子質(zhì)量大,當(dāng)速度高、能量大時(shí),垂直撞擊時(shí)離子可注入工件材料內(nèi)部,稱()。當(dāng)速度低、能量小時(shí),離子可以濺射鍍覆在工件表面,稱()。當(dāng)能量速度()而傾斜撞擊工件時(shí),可將工件表面的分子,原子撞擊出去,一層一層的剝離下來,稱為()加工或()加工。

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