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填空題

HMDA裝置的真空泵的位號(hào)是（）、（）、（）。

答案： K-A001、K-A002、K-A003

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HMDA裝置的真空泵的正常啟動(dòng)順序是（）。

答案： K-A003--K-A002--K-A001

HMDA裝置的真空泵的正常停止的順序是（）。

答案： K-A001--K-A002--K-A003