超精密機床的進給系統(tǒng)由哪幾個功能單元組成？

選取制造空氣主軸和軸承的材料時，不可采用的材料是（）。

在電解批量加工時，電解液中的金屬氫氧化物的含量應(yīng)控制在（）以內(nèi)。

多齒分度盤的齒數(shù)為1440，則其分度增量是（）。

下列超精密機床主軸部件中，受溫升影響主軸精度最大的軸承是（）。