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【簡(jiǎn)答題】離子束加工應(yīng)用有哪些方面?
答案:
利用離子撞擊和濺射效應(yīng)的離子束刻蝕、離子濺射鍍膜和離子鍍,利用離子注入效應(yīng)的離子注入。
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【簡(jiǎn)答題】離子束設(shè)備由什么組成?
答案:
離子源(又稱(chēng)離子槍?zhuān)a(chǎn)生離子束流)、真空系統(tǒng)、控制系統(tǒng)、電源。
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【簡(jiǎn)答題】離子束加工的特點(diǎn)是什么?
答案:
1.是一種精密微細(xì)的加工方法。
2.非接觸式加工,不會(huì)產(chǎn)生應(yīng)力和變形。
3.加工速度很快,能量使用率可高...
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