平面步進(jìn)電動(dòng)機(jī)是由兩臺(tái)成正交排列的直線(xiàn)步進(jìn)電動(dòng)機(jī)組成，其中一臺(tái)的動(dòng)子沿（）方向移動(dòng)，另一臺(tái)動(dòng)子沿（）方向移動(dòng)，兩臺(tái)電動(dòng)機(jī)的動(dòng)子裝在同一支架上，這樣支架就可在XY平面上的任一點(diǎn)定位，也可按任意幾何軌跡運(yùn)動(dòng)。

電機(jī)的機(jī)電過(guò)渡過(guò)程是一個(gè)復(fù)雜的電氣、機(jī)械相交疊的物理過(guò)程，但是一般說(shuō)來(lái)，電氣過(guò)渡過(guò)程的時(shí)間要比機(jī)械過(guò)渡過(guò)程（）得多。

超聲振動(dòng)是超聲波電動(dòng)機(jī)工作的最基本的條件，起驅(qū)動(dòng)源的作用，但是，并不是任意超聲振動(dòng)都具有驅(qū)動(dòng)作用，它必須具備一定的形態(tài)，即振動(dòng)位移的軌跡為一（），才具有定向連續(xù)的驅(qū)動(dòng)作用。

一般，力矩式自整角機(jī)帶動(dòng)負(fù)載（），控制式自整角機(jī)帶動(dòng)負(fù)載（）。

步進(jìn)電動(dòng)機(jī)的連續(xù)運(yùn)行頻率與負(fù)載轉(zhuǎn)矩成正比。