填空題常規(guī)硅集成電路平面制造工藝中光刻工序包括的步驟有()、()、()、()、()、()、()等。
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從天然硅中獲得達到生產半導體器件所需純度的SGS要經過()等步驟。
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題型:問答題
MOS器件按比例縮小后對器件特性有什么影響?
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題型:單項選擇題