填空題

濺射鍍膜方法有()、()、()、()等。

答案: 直流濺射;射頻濺射;偏壓濺射;磁控濺射(反應(yīng)濺射、離子束濺射)
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填空題

離子對物體表面轟擊時(shí)可能發(fā)生的物理過程有()、()、()、()。

答案: 反射;產(chǎn)生二次電子;濺射;注入
填空題

自持放電的形式有()、()、()、()。

答案: 輝光放電;弧光放電;電暈放電;火花放電
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