被樣品原子核反彈回來的入射電子稱為非彈性背散射電子，能量基本上沒有損失。

電子束與固體樣品作用時(shí)，會(huì)產(chǎn)生背散射電子。背反射電子的產(chǎn)額隨樣品（）的增加而增多。

1887年，Hertz建立了XPS技術(shù)的理論模型。

與光鏡呈像相比，掃描電鏡圖像立體感強(qiáng)，形態(tài)逼真，這是由于掃描電鏡的（）比光鏡大100-500倍。

電子探針的能譜儀和波譜儀比較，波譜儀（）。