在電子探針中，測定X射線特征能量的譜儀為能量分散譜儀，簡寫為（）。

熱分析中，不同性質(zhì)的氣氛對測試結(jié)果沒有影響。

在電子探針面分析中，根據(jù)圖像上亮點的疏密和分布，可確定該元素在試樣中分布情況，亮區(qū)代表元素含量（）。

利用電子探針對材料微區(qū)成分進行面分析，包含幾種元素就顯示幾種元素的分布圖像。

1887年，Hertz建立了XPS技術(shù)的理論模型。