電子探針和X射線衍射儀一樣，都可以直接確定材料中所包含的物相。

被樣品原子核反彈回來的入射電子稱為非彈性背散射電子，能量基本上沒有損失。

電子探針的能譜儀和波譜儀比較，波譜儀（）。

X射線衍射儀中，通常用于測定2θ范圍不大的一段衍射圖，常用于精確測定衍射峰的積分強(qiáng)度和位置的掃描方式為（）。

利用電子探針的波譜儀，一個(gè)分光晶體能夠覆蓋的波長范圍有限的，因此一個(gè)分光晶體只能檢測一定原子序數(shù)范圍的元素。