超精密機(jī)床的進(jìn)給系統(tǒng)由哪幾個功能單元組成？

下列電火花加工用脈沖電源中，哪個電源穩(wěn)定性最差（）。

在電火花成形機(jī)床中，（）是最關(guān)鍵的部件，對加工工藝指標(biāo)的影響極大。

決定金剛石晶體各向異性的因素是（）。

納米級表面物理力學(xué)性能檢測的內(nèi)容是什么？