納米級表面物理力學(xué)性能檢測的內(nèi)容是什么？

超精密機(jī)床的進(jìn)給系統(tǒng)由哪幾個功能單元組成？

下列超精密機(jī)床主軸部件中，受溫升影響主軸精度最大的軸承是（）。

電解加工時，采用下列哪種電解液時需加過濾凈化措施（）。

在進(jìn)行電解加工時，工件的重復(fù)精度受工具電極進(jìn)給速度的影響，一般機(jī)床的進(jìn)給速度變化率應(yīng)小于（）。