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超精密加工中穩(wěn)定的加工環(huán)境條件主要指()、()、()和()四個方面的條件。
答案:
恒溫;恒壓;防振;超凈
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超精密機(jī)床主軸的驅(qū)動方式主要有電動機(jī)通過帶傳動驅(qū)動、()和()三種。
答案:
電動機(jī)通過柔性聯(lián)軸器驅(qū)動;采用內(nèi)裝式同軸電動機(jī)驅(qū)動
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電火花型腔加工的工藝方法有:()、()、()、()等。
答案:
單電極加平動法;多電極更換法;分解電極法;簡單電極數(shù)控創(chuàng)成法
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