超精密機(jī)床的進(jìn)給系統(tǒng)由哪幾個(gè)功能單元組成？

金剛石晶體面網(wǎng)間距分布不均勻的是（）晶面。

電化學(xué)機(jī)械復(fù)合加工

在測量精密軸系地回轉(zhuǎn)誤差時(shí)，需采用誤差分離技術(shù)，為什么？

在進(jìn)行電解加工時(shí)，工件的重復(fù)精度受工具電極進(jìn)給速度的影響，一般機(jī)床的進(jìn)給速度變化率應(yīng)小于（）。