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光刻加工
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光刻加工技術(shù)是用照相復(fù)印的方法將光刻掩模上的圖形印刻在涂有光刻抗蝕劑的薄膜或基材表面,然后進行選擇性腐蝕,刻蝕出規(guī)定的圖...
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