1887年，Hertz建立了XPS技術(shù)的理論模型。

孔徑半角越小，衍射效應(yīng)所決定的電磁透鏡的分辨率越高。

當(dāng)?shù)挂浊蚺c反射球相交，交線是一個(gè)圓環(huán)，環(huán)上每一點(diǎn)都滿足衍射條件，可以產(chǎn)生衍射。

拉曼光譜分析時(shí)，1500cm-1以上的譜帶必定是一個(gè)基團(tuán)的頻率，解釋通常是可靠的，一般可以確信其推論。

在電子探針面分析中，根據(jù)圖像上亮點(diǎn)的疏密和分布，可確定該元素在試樣中分布情況，亮區(qū)代表元素含量（）。