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問答題

【簡答題】Review tool 有哪幾種？

答案： Optical review tool 和 SEM review tool.

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【簡答題】Bright field 與 Dark field 何者靈敏度較好？

答案： Bright field

【簡答題】Bright field 與 Dark field 何者掃描速度較快?

答案： Dark field

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